解决方案
激光退火
高产能UV激光退火设备介绍
「SWA-20USH」 实现以扩大光束尺寸改善吞吐量
＜设备规格比较＞
＜要点＞
- 在维持Top Hat形状的同时，光束尺寸扩大至φ130um，以实现1.5倍吞吐量
- 采用SHI独自设计开发的特殊光学系
■新光学系（采用特殊光学系）
■光束形状
维持Top hat形状的同时，光束大小扩大至φ130um。
■SWA-20US的改造
可从现有机SWA-20US进行改造。
■DEMO评价
可提供实施DEMO照射。如有DEMO需求，请透过以下邮箱联络我们。
MAIL: shi.laser.sales@shi-g.com
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