製品情報
LASER SYSTEMレーザシステム
レーザアニール
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SWA “Green/Hybrid” Laser series
レーザアニーリング装置
深い活性化とダブルパルスプロセスにも対応した、高性能レーザアニール装置
適用例) IGBT裏面活性化
独自のダブルパルスプロセスを可能にした固体レーザと長波長レーザを搭載したハイブリットアニール装置です。 固体レーザの特徴である、高繰り返し高パルスエネルギ安定性、メンテナンスフリー、コンパクト設計を備え、半導体分野の次世代プロセスの開発を促進します。 -
SWA “UV” Laser series
レーザアニーリング装置
次世代パワーデバイス用レーザアニール装置
適用例) SiCオーミック・コンタクト生成、活性化など
非照射面の温度上昇を抑えつつ、メタル-SiC界面を高温に加熱し、OPTSWING※（独自の高速スキャン方式）でオーミック・コンタクトの生成を実現します。 -
SWA “UV” Laser series for R&D
レーザアニーリング装置
豊富な量産実績を持つSWA-20USの光学系を採用した汎用性の高いマニュアル機
適用例) SiCオーミック・コンタクト生成、活性化など
開発、少量産に適したマニュアル機。
UVレーザ＋OPTSWING（高速スキャン）＋プロセスチャンバ搭載で高品質なプロセスを実現します。
※UVレーザ以外の光源をご希望の場合は別途ご相談ください。
レーザマシナリ
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レーザダインシステム
レーザ加工システム
世界中の航空機部品製造メーカに多くの納入実績を誇る、Prima Power社の5軸高精度切断・穴あけ・溶接加工装置です。
ブレードの穴あけ・切断等、航空機エンジンや発電タービンの生産には欠かせないシステムとして高い評価を得ています。 -
標準加工システム
レーザ加工システム
使い勝手に優れたコンパクトな高精度3軸直交軸加工ステーションです。
精密自動車部品溶接、電子部品溶接等、精密なレーザアプリケーションに最適です。 -
ロボットシステム
レーザ加工システム
レーザと垂直6軸多関節ロボットをインテグレートした,汎用性の高い3次元レーザ加工機です。
自動車プレス部品の溶接・切断、精密板金の溶接・切断、リモートウェルディング、レーザブレージング等、多くの現場で活躍します。 -
3Dレーザ切断システムLaser Next
レーザ加工システム
自動車プレス・フォーミング部品の３次元切断の為に開発された、Prima Power社のハイエンド3Dレーザ切断システム “Laser Next”
高速であらゆる形状のプレス・フォーミング部品のレーザ切断・穴あけが可能です。
治具と切断ヘッドのシンクロシステムは驚異的なレーザ切断速度を実現。
世界の車体メーカで活躍しています。 -
溶接モニタリングシステム Z’eye
プロセスツール
レーザ溶接品質管理のエキスパート！
レーザ溶接の監視装置です。
レーザ溶接中、溶融地近傍から発生するプラズマ光と反射光をレーザビーム同軸上でモニタリングし、レーザ溶接欠陥を判定する装置です。
生産ラインの検査省力化に貢献します。 -
ハイスピードカッティングヘッド
プロセスツール
6軸多関節ロボット用オプションツール。
高速かつ高精度なＸＹ加工が可能となり、オプションホール等の切断に役立ちます。 -
TruFiber シリーズ (Trumpf社製ファイバレーザ)
レーザ発振器
ロバスト&コンパクト
高ビーム品質・高効率を高い技術で一体化させたコンパクトなファイバレーザです。 万全な反射光対策によりアルミ・銅などの高反射材の溶接が可能です。 -
TruPulsenano シリーズ(Trumpf社製ナノ秒パルスレーザ)
レーザ発振器
パルス波形チューニング機能を持つ、ナノ秒パルスレーザです。
ＭＯＰＡテクノロジーによるパルスデザインの選択が可能。
異種材接合から切断、クリーニングまで様々なアプリケーションに対応します。 -
IPGファイバーレーザシステム
レーザ発振器
IPGフォトニクスジャパン株式会社との販売提携により、IPGファイバーレーザ発振器をソースとしたレーザ加工機の設計・製作をしております。
お客様のご要望に基づいた加工システムのご提案、光学系の選定から量産装置への展開まで、ハードとソフトの両面で装置導入をトータルでお手伝いいたします。
