精密位置決め装置 XY ステージ
ウエハの高速スキャン動作に最適 装置の振動を最小限に低減 Z機構、θ機構のオプション
■ 高精度エアサーボ駆動 発熱フリー・非磁性・非接触駆動 真空チャンバ内直接駆動による高運動性能 ■ 差動排気付きエアベアリングによる案内機構 非接触による優れた案内精度と再現性 グリースフリーと低発塵 高真空度に対応
