製品情報
SM/SL/SSL
リニアモータ
独自開発のI型コイル形式でサイドフォースの発生を抑制するとともに、磁気回路やコイル配置の設計最適化と精度の高い組み立てによって推力リップルを最小化したリニアモータです。
高精度なスキャン動作を可能にします。
高精度なスキャン動作を可能にします。
特長
高精度なスキャン動作を可能にするリニアモータ
- 半導体製造分野の精密ステージ
- FPD製造分野の精密ステージ
仕様
| 項目 | SM-2 | SM-3 | SM-4 | SM-6 |
|---|---|---|---|---|
| 定格推力 | 76N | 112N | 148N | 219N |
| 最大推力 | 228N | 336N | 444N | 657N |
| 定格電流 | 1.22Arms | 1.19Arms | 2.37Arms | 2.33Arms |
| 最大電流 | 3.65Arms | 3.58Arms | 7.10Arms | 7.00Arms |
| 可動子長（L1） | 145mm | 206mm | 267mm | 389mm |
| 固定子長（L2） | 183mm(SMY-3)、244mm(SMY-4) | |||
| 幅（W） | 36mm | |||
| 高さ（H） | 87.5mm | |||
| 項目 | SL-4 | SL-6 | SL-8 | SL-10 |
|---|---|---|---|---|
| 定格推力 | 320N | 456N | 600N | 783N |
| 最大推力 | 960N | 1,368N | 1800N | 2,349N |
| 定格電流 | 4.06Arms | 3.86Arms | 5.07Arms | 5.29Arms |
| 最大電流 | 12.19Arms | 11.58Arms | 15.21Arms | 16.00Arms |
| 可動子長（L1） | 315mm | 459mm | 603mm | 747mm |
| 固定子長（L2） | 216mm(SLY-3)、288mm(SLY-4) | |||
| 幅（W） | 54.8mm | |||
| 高さ（H） | 121.4mm | |||
| 項目 | SSL-4 | SSL-6 | SL-8S | SSL-10 |
|---|---|---|---|---|
| 定格推力 | 614N | 910N | 1204N | 1500N |
| 最大推力 | 1842N | 2730N | 3612N | 4500N |
| 定格電流 | 5.33Arms | 7.91Arms | 10.46Arms | 13.03Arms |
| 最大電流 | 16.00Arms | 23.72Arms | 31.38Arms | 39.00Arms |
| 可動子長（L1） | 434mm | 633.2mm | 832.4mm | 1031.6mm |
| 固定子長（L2） | 298.8mm(SSLY-3)、398.4mm(SSLY-4) | |||
| 幅（W） | 59.4mm | |||
| 高さ（H） | 166mm | |||