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半導体 検査・露光装置用ステージ

小型サーフェスステージ SA&SL Series
(1)ステージ紹介

  • (2)ステージ動作

    (1)ステージ紹介

    主に半導体ウエハの検査・露光装置に用いられる精密位置決め装置(XYステージ)。ステージ概要を3Dアニメーションで紹介。

    [ 02:18 ]
  • (1)ステージ紹介

    (2)ステージ動作

    ステージの駆動部の動作紹介。1m/s、1Gの高速駆動を実現します。

    [ 01:03 ]
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メカトロニクス事業部 営業部 モーションコンポーネントG

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