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レーザアニーリング装置

半導体用レーザアニーリング装置 SWAシリーズ

固体レーザアニーリング装置 GLE/SWAシリーズ

高性能固体レーザアニール装置。
固体レーザの特徴である高繰り返し、高いパルスエネルギ安定性、メンテナンスフリー、コンパクト設計を備え、次世代開発を促進します。

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メカトロニクス事業部 営業部 装置G